Resumen
This document specifies the test method for measuring the crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using the XRD method with parallel X-ray beam. This document is applicable to all of the single-crystal thin film (wafer) as bulk or epitaxial layer structure.
Informaciones generales
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Estado: PublicadoFecha de publicación: 2020-08Etapa: Norma Internacional publicada [60.60]
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Edición: 1Número de páginas: 29
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Comité Técnico :ISO/TC 206ICS :81.060.30
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