International Standard
ISO 25178-603:2025
Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Areal — Part 603: Design and characteristics of non-contact (phase shifting interferometry) instruments
Reference number
ISO 25178-603:2025
Edition 2
2025-02
© ISO 2025
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No disponible en español
Publicado (Edición 2, 2025)

ISO 25178-603:2025

Idioma
Formato
CHF 98
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Resumen

This document specifies the design and metrological characteristics of phase shifting interferometry (PSI) instruments for the areal measurement of surface topography. Because surface profiles can be extracted from areal surface topography data, the methods described in this document are also applicable to profiling measurements.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2025-02
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • Edición
     : 2
    Número de páginas
     : 18
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 213
    ICS :
    17.040.20 
  • RSS actualizaciones

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