International Standard
ISO 18114:2021
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
Reference number
ISO 18114:2021
Edición 2
2021-05
© ISO 2024
International Standard
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No disponible en español
Publicado (Edición 2, 2021)

ISO 18114:2021

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CHF 42
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Resumen

This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials.

The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.

Informaciones generales

  • Estado
     : Publicado
    Fecha de publicación
     : 2021-05
    Etapa
    : Norma Internacional publicada [60.60]
  • Edición
     : 2
    Número de páginas
     : 4
  • Comité Técnico :
    ISO/TC 201/SC 6
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS actualizaciones

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