ISO 13095:2014

Indisponible en français

Publiée (Edition 1, 2014)

Cette norme a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2021. Cette édition reste donc d’actualité.

ISO 13095:2014

CHF 129

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Résumé

ISO 13095:2014 specifies two methods for characterizing the shape of an AFM probe tip, specifically the shank and approximate tip profiles. These methods project the profile of an AFM probe tip onto a given plane, and the characteristics of the probe shank are also projected onto that plane under defined operating conditions. The latter indicates the usefulness of a given probe for depth measurements in narrow trenches and similar profiles. This International Standard is applicable to the probes with radii greater than 5u₀, where u₀ is the uncertainty of the width of the ridge structure in the reference sample used to characterize the probe.

Informations générales

État actuel
: Publiée

Date de publication
: 2014-07

Stade
: Norme internationale confirmée [90.93]
Edition
: 1
Comité technique :
ISO/TC 201/SC 9

ICS :
71.040.40
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