Reference number
ISO 13084:2018
ISO 13084:2018
© ISO 2025
International Standard
ISO 13084:2018
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
Edition 2
2018-11
2018-11
ISO 13084:2018
73133
Publiée
(Edition 2, 2018)
Cette publication a été révisée et confirmée pour la dernière fois en 2024.
Cette édition reste donc d’actualité.
Remplacement prévu par ISO/DIS 13084 dans les mois à venir.
Résumé
This document specifies a method to optimize the mass calibration accuracy in time-of-flight secondary ion mass spectrometry (SIMS) instruments used for general analytical purposes. It is only applicable to time-of-flight instruments but is not restricted to any particular instrument design. Guidance is provided for some of the instrumental parameters that can be optimized using this procedure and the types of generic peaks suitable to calibrate the mass scale for optimum mass accuracy.
Informations générales
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État actuel: PubliéeDate de publication: 2018-11Stade: Norme internationale à réviser [90.92]
-
Edition: 2
-
Comité technique :ISO/TC 201/SC 6ICS :71.040.40
- RSS mises à jour
Prochaine édition en cours d'élaboration
Draft
International StandardISO/DIS 13084
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Étalonnage de l'échelle de masse pour un spectromètre de masse des ions secondaires à temps de vol
Reference number
ISO/DIS 13084
ISO/DIS 13084
Edition 1
© ISO 2025
Projet Norme internationale
ISO/DIS 13084
Analyse chimique des surfaces — Spectrométrie de masse des ions secondaires — Étalonnage de l'échelle de masse pour un spectromètre de masse des ions secondaires à temps de vol
Cycle de vie
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Précédemment
AnnuléeISO 13084:2011
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Actuellement
-
Sera remplacée par
ProjetISO/DIS 13084
