ISO/CD TS 25138
Analyse chimique des surfaces — Analyse de films d'oxyde de métal par spectrométrie d'émission optique à décharge luminescente
Numéro de référence
ISO/CD TS 25138
Edition 3
Committee Draft
ISO/CD TS 25138
87872
Examen du projet par le comité en cours.
Remplacera ISO/TS 25138:2019

Résumé

This document describes a glow-discharge optical-emission spectrometric method for the determination of the thickness, mass per unit area and chemical composition of metal oxide films.

This method is applicable to oxide films 1 nm to 10 000 nm thick on metals. The metallic elements of the oxide can include one or more from Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn, Zr and Al. Other elements that can be determined by the method are O, C, N, H, P and S.

Informations générales

  •  : Projet
    : Projet de comité (CD) enregistré [30.00]
  •  : 3
  • ISO/TC 201/SC 8
  • RSS mises à jour

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