Reference number
IEC/TS 62622:2012
© ISO 2024
Technical Specification
IEC/TS 62622:2012
Artificial gratings used in nanotechnology — Description and measurement of dimensional quality parameters
Edition 1
2012-10
Technical Specification
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2012)
Последний раз этот публикация был пересмотрен в  2022. Поэтому данная версия остается актуальной.

IEC/TS 62622:2012

Язык
Формат
CHF 235
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

IEC/TS 62622:2012(E), which is a technical specification, specifies the generic terminology for the global and local quality parameters of artificial gratings, interpreted in terms of deviations from nominal positions of grating features, and provides guidance on the categorization of measurement and evaluation methods for their determination. This specification is intended to facilitate communication among manufacturers, users and calibration laboratories dealing with the characterization of the dimensional quality parameters of artificial gratings used in nanotechnology. This specification supports quality assurance in the production and use of artificial gratings in different areas of application in nanotechnology. Whilst the definitions and described methods are universal to a large variety of different gratings, the focus is on one-dimensional (1D) and two-dimensional (2D) gratings.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2012-10
    Этап
    : Подтверждение действия международного стандарта [90.93]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 229
    ICS :
    07.120 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цель устойчивого развития

9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 07
  6. 07.120
  7. IEC/TS 62622:2012