ISO 23216:2021 - Carbon based films — Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry

Тезис

Предпросмотр

This document specifies spectroscopic ellipsometry for the determination of optical properties (refractive index n and extinction coefficient k) and the optical classification of different types of amorphous carbon films within the n-k plane.

It is applicable to amorphous carbon films deposited by ionized evaporation, sputtering, arc deposition, plasma-assisted chemical vapour deposition, hot filament techniques and others.

It does not apply to carbon films modified with metals or silicon, amorphous carbon films that have a gradient of composition/property in the thickness, paints and varnishes.

Общая информация

Текущий статус
: Published

Дата публикации
: 2021-05
Версия
: 1
Технический комитет
: ISO/TC 107 Metallic and other inorganic coatings
ICS
:
25.220.99 Other treatments and coatings

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цели в области устойчивого развития:

Недорогостоящая и чистая энергия

Индустриализация, инновации и инфраструктура

Приобрести данный стандарт

	Формат	Язык
std 1 61	PDF + ePub
std 2 61	Бумажный

CHF61

Жизненный цикл

Сейчас

Published

ISO 23216:2021
Этап: 60.60

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

Работа с клиентами

+41 22 749 08 88

customerservice@iso.org

Часы работы:
Понедельник – пятница: 09:00-12:00, 14:00-17:00 (UTC+1)

Будьте в курсе актуальных новостей ИСО

Подписывайтесь на наши новости, обзоры, а также на информацию о продуктах.