Reference number
ISO 14606:2022
© ISO 2024
International Standard
ISO 14606:2022
Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials
Edition 3
2022-11
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 3, 2022)

ISO 14606:2022

Язык
Формат
CHF 96
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

This document gives guidance and requirements on the optimization of sputter-depth profiling parameters using appropriate single-layered and multilayered reference materials, in order to achieve optimum depth resolution as a function of instrument settings in Auger electron spectroscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and secondary ion mass spectrometry.

This document is not intended to cover the use of special multilayered systems such as delta doped layers.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2022-11
    Этап
    : Опубликование международного стандарта [60.60]
  • Версия
     : 3
  • Технический комитет :
    ISO/TC 201/SC 4
    ICS :
    71.040.40 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Цели в области устойчивого развития

Данный стандарт разработан для достижения следующих Цели в области устойчивого развития

7
Недорогостоящая и чистая энергия
9
Индустриализация, инновации и инфраструктура

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 71
  6. 71.040
  7. 71.040.40
  8. ISO 14606:2022