Reference number
ISO/TS 21383:2021
© ISO 2024
Technical Specification
ISO/TS 21383:2021
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
Edition 1
2021-03
Technical Specification
Preview
Indisponible en français
Publiée (Edition 1, 2021)

ISO/TS 21383:2021

Langue
Format
CHF 194
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Résumé

This document describes methods to qualify the scanning electron microscope with the digital imaging system for quantitative and qualitative SEM measurements by evaluating essential scanning electron microscope performance parameters to maintain the performance after installation of the instruments. The items and evaluating methods of the performance parameters are selected by users for their own purposes.

Informations générales

  • État actuel
     : Publiée
    Date de publication
     : 2021-03
    Stade
    : Clôture de l'examen [90.60]
  • Edition
     : 1
  • Comité technique :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS mises à jour

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