Reference number
ISO/TS 21383:2021
© ISO 2024
Technical Specification
ISO/TS 21383:2021
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
Edition 1
2021-03
Technical Specification
Preview
недоступно на русском языке
Опубликовано (Версия 1, 2021)

ISO/TS 21383:2021

Язык
Формат
CHF 194
Пересчитать швейцарские франки (CHF) в ваша валюта

Тезис

This document describes methods to qualify the scanning electron microscope with the digital imaging system for quantitative and qualitative SEM measurements by evaluating essential scanning electron microscope performance parameters to maintain the performance after installation of the instruments. The items and evaluating methods of the performance parameters are selected by users for their own purposes.

Общая информация

  • Текущий статус
     : Опубликовано
    Дата публикации
     : 2021-03
    Этап
    : Рассылка краткого отчета о пересмотре [90.60]
  • Версия
     : 1
  • Технический комитет :
    ISO/TC 202/SC 4
    ICS :
    37.020 
  • RSS обновления

Жизненный цикл

Появились вопросы?

Ознакомьтесь с FAQ

  2. Интернет-магазин
  3. Каталог стандартов
  4. МКС
  5. 37
  6. 37.020
  7. ISO/TS 21383:2021